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气体放电过程中产生带电质点最重要的方式是碰撞电离 。
这是因为电子体积小 ，其自由行程（两次碰撞间质点经过的距离）比离子大得多 ，所以在电场中获得的动能比离子大得多。其次，由于电子的质量远小于原子或分子 。
因此当电子的动能不足以使中性质点电离时 ，电子会遭到弹射而几乎不损失其动能；而离子因其质量与被碰撞的中性质点相近 ，每次碰撞都会使其速度减小，影响其动能的积累 。
碰撞电离是指能量足够大的光子 、电子 、离子撞击分子或原子时 ，使该分子或原子中的价电子释放出来而成为正离子的过程。
入射粒子与原子或分子发生碰撞过程中会发生能量、动量 、电荷的交换 ，碰撞结果除服从能量守恒 、动量守恒和电荷守恒外，还与它们相互作用的具体情况及原子分子的结构有关系 。
因此，碰撞试验除研究原子、分子激发态结构之外 ，还可研究各种入射粒子与原子 、分子或离子体系作用的动力学机制 。
入射粒子可是电子 、正电子、质子 、离子 、原子或分子等 ，分别用于研究原子、分子的价壳层电子激发态和内壳层激发和电离。按入射粒子的种类分，碰撞电离可分为电子碰撞电离、重粒子碰撞电离 、亚原子碰撞电离 、离子碰撞电离等 。
碰撞电离的条件：
碰撞电离条件是在合适的真空 ，气压条件下 ，并有足够的能量，使大的光子、电子 、离子撞击气体中的分子或原子 ，使该分子或原子中的价电子释放出来而成为正离子 。
电离生成的电子 、正离子一般在短时间内又会再结合 ，回到中性原子或分子状态。此时，电子、正离子所具有的一部分能量就以电磁波 、再结合粒子的动能 、或者分子的离解能的形式被消耗。
分子离解时往往生成自由基 。而一部分电子与中性原子、分子接触 ，又生成负离子 。因此 ，等离子体是电子，正 、负离子 ，激发态原子 、分子以及自由基混杂的状态。
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